日本酸素ホールディングスグループの日本産業ガス事業会社である大陽日酸株式会社（本社：東京都品川区、代表取締役社長：永田 研二）は、純酸素燃焼を用いた粉体溶融・球状化システム「CERAMELTⓇ」と水素燃焼技術を組み合わせ、半導体材料製造プロセスにおけるカーボンニュートラル実現に貢献できる無機質粉体溶融・球状化技術を開発しました。

 

 

球状粒子は半導体封止材料等の樹脂充填剤として用いられ、半導体製品の性能向上や小型化に大きく寄与してきました。「CERAMELTⓇ」は、球状シリカ等の球状粒子を製造するプロセスで用いられ、酸素燃焼を用いた高温火炎中に原料粒子を通過させることで、粉体を溶融・球状化するという特徴を有しています

 

 

近年の半導体の使用領域拡大とともに、製造過程における環境負荷低減に対する要求が厳しくなってきています。大陽日酸はこの課題を解決する、水素-純酸素燃焼を用いた粉体溶融・球状化技術を開発しました。「CERAMELTⓇ」では従来、燃料としてプロパンなどの化石燃料を使用していたため、燃焼排ガスにCO2が含まれていました。本技術では、燃料に水素を用いることで燃焼排ガス中のCO2をゼロにし、環境負荷低減に大きく貢献すると共に、従来の化石燃料と同等の性能で原料粒子を溶融・球状化することが可能です。加えて、カーボン源が「CERAMELTⓇ」に供給されないため、製品中のカーボン不純物が低減し、高品質な球状粒子の製造に貢献できます。今後、顧客とともに本技術の実用化を進めていきます

 

 

※当ニュースは、2023年6月8日に発行された大陽日酸のニュースリリースとなります。 ※CERAMELTⓇ の詳細は、大陽日酸ガス関連機器サイトの粉体球状化システム「CERAMELT」ページをご覧ください。

 

大陽日酸について

大陽日酸は、産業ガスの日本市場で約40％のトップシェアを誇り、日本酸素ホールディングスグループの日本事業の中核を担っています。またグループ内のR＆D・エンジニアリング機能の中枢として、お客様のニーズに対応できる体制を整えています。日本全国に張り巡らされた供給網と、高効率な生産工場の安定操業を通じて、日本のものづくりを支えています。